PID控制具有許多細節要注意

晶體PID控制具有許多細節，例如校准其厚度讀數。當然，它只能“看到”直接落在自身上的沉積物，而這並不是用戶想要知道或控制的。PID控制用戶想知道襯底上有什麼，因此需要進行物理測量以與晶體讀數進行比較，並且需要計算校準因子（通常稱為“工具”因子），將其編程到儀器中，然後進行驗證。
PID控制另一個重要的一點是，晶體不會永遠存在。一個新的晶體將具有一個初始工作頻率，隨著材料沉積在晶體上而降低。振盪器具有可以執行的頻率下限，這絕對是晶體失效的​​一種方式。但是，在PID控制實際使用中，給定的晶體永遠不會走得那麼遠，並因噪聲問題或其他原因而更早地出現故障，這並不少見。
為了解決沉積埃，PID控制振盪必須非常好且非常穩定，並且儀器拒絕一個“失敗”所花費的時間不會太多。因此，請確保訂購這些重要的消耗品，並記住，加工中的基材無疑比晶體貴得多，因此不要試圖在廉價的晶體上延長使用壽命，並有可能浪費大量有價值的產品。
在這篇基本PID控制文章中，有太多其他方面和選項無法涵蓋所有方面，但是這些石英晶體速率控制器實際上用於所有蒸發器，無論是燈絲/船型還是電子束型。主要原因是大多數此類系統中沉積速率與源極驅動功率的差異-使用這些控制器，儘管有任何此類差異，您仍可以更好地保持速率和厚度。https://tw.azbil.com/info_category/pid%E6%8E%A7%E5%88%B6%E5%99%A8-%E8%A8%98%E9%8C%84%E5%99%A8/